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摘要：先进集成电路工艺作为支撑人工智能、智能终端、汽车电子、工业控制以及新一代信息技术发展的核心基础，其制造水平直接影响全球科技竞争格局。随着芯片制造节点不断向纳米尺度演进，传统生产模式面临工艺复杂度...
